Thin-Film Deposition 薄膜沉積
RF 濺鍍與熱蒸鍍系統，支援薄膜沉積、表面改質及預鋰化製程。
Facilities & Capabilities
研究量能
從薄膜製程、電池組裝到材料分析，支援能源材料的開發與驗證。
製程設備
Heat Treatment & Ball Milling 熱處理與球磨
粉體製備、表面改質及共摻雜製程。
Argon Glove Box 氬氣手套箱
鋰／鈉化合物製備、複合固態電解質製作及鋰／鈉離子電池組裝。
Molecular Beam Epitaxy 分子束磊晶
CIGS 薄膜成長、成分與厚度控制，以及表面與界面後處理。
分析設備
In-situ SEM 臨場電子顯微鏡
觀察電極形貌在操作過程中的變化。
DLS 動態光散射
分析粉體粒徑分布與分散情形。
Electrochemical Test System 電化學測試
循環伏安 CV、充放電 GCD、線性掃描 LSV、交流阻抗 EIS 等電化學性能量測。
PL / TRPL 光激發螢光
半導體光學性質及載子復合行為分析。
共用儀器
X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)
貴重儀器中心設備；本實驗室提供技術諮詢。分析表面元素組成、化學態及鍵結，並支援 UPS、LEIPS 與深度分析。
儀器位置：工程四館材料所 127 室 (AES/ESCA)
實驗室技術諮詢：曾暄凱 Hsuan-Kai Tseng · a8911814@gmail.com 預約與官方管理窗口請見貴重儀器中心頁面。
官方儀器資訊與預約 →SEM 7600F 掃描式電子顯微鏡
材料系共用儀器；本實驗室提供技術諮詢與管理。高解析觀察材料表面、元件、薄膜與剖面微結構。
儀器位置：材料科技館 R119
曾暄凱 · a8911814@gmail.com 蔡宗諺 · iantsai93@gmail.com
官方儀器資訊與預約 →